半导体厂

守护洁净无尘的底线:AI-ASD极早期烟雾探测器为高价值生产环境筑牢安全屏障


电子工厂火灾防控的四大核心挑战


1. 多重火灾隐患交织的复合风险

设备故障:公用设施(如HVAC系统、气体管道)和工艺设备(如光刻机)长期高负荷运行,老化或故障可能直接引发火灾。

电气故障:密集的电气线路易因短路、过载或静电放电产生火花,引燃易燃物质。

易燃易爆材料:洁净室内大量使用溶剂、硅烷气体等化学品,在泄漏或意外接触火源时易发生火灾。

高温工艺自燃:高温退火、化学/物理气相沉积等工艺需要在高温环境下进行,操作不当易引起火灾。

高速气流助燃:高换气率虽过滤污染物,但会加速烟雾和火焰扩散,导致火势失控。


2. 高气流稀释效应下的探测失效  

洁净室通过高换气率和HEPA过滤维持洁净度,但高速气流会迅速稀释烟雾颗粒。传统点型探测器灵敏度不足,难以捕捉被稀释的初期火灾信号。


3. 复杂空间下的监测盲区

在仓库等具有高大空间的场所,由于屋顶通常较高,火灾所产生的烟雾可能随着烟雾的上升而迅速被稀释。气流和烟气分层现象也会影响到烟雾的扩散。可能造成不足以引发点式或对射式烟雾探测器的动作。

变电站是在半导体工厂中电力系统的核心来源,但传统的探测器无法安装变电站内的高压柜内,高压柜内的火灾情况不易察觉。


4. 非热损害:隐形杀手威胁更甚火焰  

火灾产生的烟雾颗粒携带腐蚀性化学物质(如酸性气体),从而导致导致半导体设备和工艺工具的腐蚀。腐蚀可能会破坏设备的精密性和稳定性,导致生产停滞。烟雾污染会影响到洁净室内的设备和工具,尤其是那些对微小颗粒和污染物极为敏感的半导体设备。污染不仅需要时间清理,而且可能导致设备失效。


破局之道:AI-ASD的四大技术革新


1. 超高灵敏度以及全能标配:抢占黄金预警时间

采用激光散射技术,灵敏度达0.0001%遮蔽率/米(较传统探测器提升数千倍),在阴燃阶段即可发出预警。为应急响应预留充足时间,避免产线停摆。

提供从探测器到控制器的完整系统,标准配置包含火灾控制器与火灾报警器、楼层显示器、内置编程器、内置电源箱。支持任意主机作为主节点,灵活监控和管理网络中所有设备,便于及时响应火灾预警,提高响应速度、减少现场巡检需求及现场干预。


2. 抗稀释设计:征服高气流环境以及无死角监测

通过多采样孔网络(支持单探测器覆盖2000平方米),以及主动吸气的工作原理,突破稀释效应。即使在强气流环境下,也能精确捕捉烟雾的早期迹象,最大限度降低火灾风险。

采样管可部署于天花板夹层、架空地板、设备内部等位置,立体覆盖无死角。  


3. 零漏报少误报保障:超强稳定性与自学习功能

全球顶级品牌霍尼韦尔Notifier以及VESDA、能美西科姆Nohmi-Secom和全球光刻机顶级品牌阿斯麦ASML收购的国内仪器公司研发背景背书。具备行业领先的高灵敏度,配合烟雾和气流探测稳定一致性、监控和通信控制系统稳定性。高自动化生产线和严格质量控制,确保系统稳定可靠。

自学习功能与烟雾阈值模式设计,更强环境适应能力。

四级报警阈值:从“预警”到“火警2”,分阶段响应,避免过度干预影响生产。


4. 智慧运维  

内置在线自检功能,远程诊断故障,简化维护流程,降低运营成本。

每个探测器都有一个事件日志,存储最近的20,000个事件,用于调查故障、报警、用户操作和烟雾趋势的取证。

广泛连接选项(以太网、Wi-Fi、RS485、继电器),开放Modbus TCP、Modbus RTU端口,可降低安装、调试、监控和维护成本。


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